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我國稀貴金屬濺射靶材制備已打破國外壟斷

2018-12-04 11:18:16

據(jù)云南省科技廳近日消息,云南省貴金屬材料重點實驗室研發(fā)團隊在主任胡昌義帶領下,開展電子信息產(chǎn)業(yè)用稀貴金屬濺射靶材的關鍵制備技術及工程化應用研究,成功制備鎳鉑(NiPt)、鈷鉻鉑硼(CoCrPtB)等靶材和釕(Ru)、鈷鉻鉑二氧化硅(CoCrPt-SiO2)靶。研發(fā)成果申請專利25件,授權11件,制定行業(yè)標準1項,發(fā)表論文66篇,榮獲2018年中國有色金屬工業(yè)科技進步一等獎。據(jù)預測,未來5年,世界濺射靶材的市場規(guī)模將超過160億美元。此次我國稀貴金屬濺射靶材制備問世,國內(nèi)濺射靶材企業(yè)的成長空間被打開。(觀察者網(wǎng))

責編 馬銳

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