每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問嘉興半導體新廠房投產了嗎，上次說的11月投產

萬業(yè)企業(yè)（600641.SH）12月1日在投資者互動平臺表示，總面積達109畝、14萬方的嘉芯半導體新研發(fā)制造基地嘉于今年11月8日正式建成投產，嘉芯半導體是由萬業(yè)企業(yè)和國際技術團隊聯(lián)合創(chuàng)辦的集成電路前道設備平臺型公司。目前嘉芯半導體業(yè)務覆蓋刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等多類主制程設備以及尾氣處理等支撐制程設備，為汽車芯片、功率芯片、邏輯芯片等集成電路晶圓制造廠提供成套的前道設備解決方案。成立至今，嘉芯半導體已成功獲得快速熱處理（RTP）設備，氮化硅、側墻、金屬等離子刻蝕機，高密度等離子薄膜沉積設備（HDP-CVD)，摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設備（SACVD），二氧化硅等離子薄膜沉積設備（PECVD），鈦/氮化鈦沉積設備（MOCVD），鋁銅金屬濺射設備（Metal Sputter(Al/Ti/TiN)），雙燃燒+雙水洗尾氣處理設備等多類設備訂單，成立后累計訂單金額超4.7億元。

(記者 蔡鼎)

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