每經(jīng)AI快訊，據(jù)“中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)”公眾號(hào)消息，中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感器技術(shù)全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室在集成角度傳感器的高性能MEMS快反鏡研制方面取得重要進(jìn)展。制備的MEMS快反鏡鏡面尺寸大，封裝體積小，并具備良好的線性度、角分辨率、響應(yīng)速度、重復(fù)定位精度和鏡面動(dòng)態(tài)形變，同時(shí)集成了高靈敏度角度傳感器，能夠?qū)崿F(xiàn)更精確的激光光束閉環(huán)控制，在激光衛(wèi)星通信方面具有巨大的應(yīng)用潛力。